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结构简单合理,零件种类、数量少,维护方便。比传统真空泵节能明显。

转子型线啮合均匀,密封性好,抽气效率高;
转子作G1级动平衡实验,泵运行震动小。

排气路径短,减少制程物沉积;
采用密封式结构,避免了因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象。

转子作G1级动平衡实验,泵运行震动小

